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839 最后的戰役(二)

請牢記域名:黃金屋 重生千禧大玩家

  滬市,張江技術園區。

  中微半導體總部的四周,布置了密密麻麻的電網和監控器,安保力量更是配備齊全。

  一座不起眼的工廠里,沙領導、鄭韓等一眾領導,在陸飛的帶領下,來到車間外。

  隔著玻璃窗,就能看到一個巨型公交車大小的光刻機,身穿防塵服的工作人員正在操控這樣的龐然大物,一個工作臺完成掃描曝光的同時,另一個工作臺也進行對準、調焦、下片等行動。

  “因為芯片制造的過程中,并不是一次曝光就可以完成,而是需要經歷多次曝光。”

  “在曝光完一個區域之后,放置硅晶圓的曝光臺就必須快速進行移動,接著曝光下一個需要曝光的區域,想要在這么多次快速移動中實現納米級別的對準,雙工作臺就必須做到精度高而且操作時間短,這項技術本來只有ASML有,但現在已經被我們突破了。”

  陸飛滔滔不絕,如數家珍。

  領導們一言不發,目不轉睛地盯著運行中的光刻機,雖然不是第一次見到光刻機,但一想到這是第一臺國產的DUV浸潤式光刻機,都壓不住激動的心情,盡可能地往前靠,想湊得更一些,看得更清楚一些。

  “了不起啊,小陸,你們了不起啊。”

  沙領導滿意道:“我記得是7年前還是8年前,也是在這里,你讓我看的是65nm干式光刻機,還向我保證絕對能搞出屬于我們自己的國產的浸潤式光刻機,我本來以為要花10年甚至更長的時間,沒想到你給了我們一個大大的驚喜啊!這么快讓你們搞出來了!”

  “哪里,哪里,領導。”

  陸飛露出謙虛而內斂的笑容。

  “說說吧,到底是怎么搞出來的?”

  沙領導眼里滿是贊賞之色。

  “其實這并不是邏輯和中微兩家的功勞,我們只負責整體的統籌調度和集成研發。”

  陸飛笑道:“DUV浸潤式光刻機能成功,完完全全歸功于參與到整個項目的全體員工、科研人員們,是他們的血汗和信念,才有了今天的光刻機,當然也離不開領導們的支持,地方上的政策,還有相關公司、院校、國企單位的合作。”

  頓了頓,“可以說,這臺DUV浸潤式光刻機凝結了華夏半導體從業人員的智慧和野心,也代表著目前國內光刻機的最高水平,距離國際一線的EUV光刻機,只有一代的代差了。”

  “生產7nm的良品率是多少?”

  鄭韓臉上掛著得意的笑容。

  畢竟,如此國之重器出自張江技術園區,滬市毫無疑問當得上“華夏半導體之都”。

  “不同的芯片不同的良率,但基本能穩定在70,慢慢調試改進,可以達到80。”

  陸飛比比畫畫道:“完全可以比肩AMSL,只用4個光罩、4次曝光,就可以達到7nm制程工藝。”

  沙領導問道:“現在邏輯和華為的手機用的都是7nm制程工藝的芯片對嗎?”

  陸飛點了下頭,“沒錯,7nm是目前市面上最先進的制程工藝,不過根據摩爾定律,再過個一兩年,就可能突破到5nm。”

  “5nm是不是就需要EUV光刻機了?”

  鄭韓好奇道。

  “有EUV光刻機固然是好,只要一次曝光,一個光罩就能實現7nm、5nm,但沒有EUV光刻機也無妨,有這臺DUV浸潤式光刻機也可以做到。”

  陸飛露出個看似輕松的笑容。

  “喔?”

  頃刻間,一眾領導的目光齊聚于他。

  “梁博士想到的方案,如果把光刻機極限使用,經過6個光罩,9次曝光,也可以實現5nm工藝。”陸飛直截了當地回答。

  一個戴著玳瑁眼鏡的領導擔憂道:“光刻機這么極限使用,會不會影響到使用壽命?”

  “還有良率。”

  “是啊,經過這么多道曝光,任何一道工序失敗,都可能滿盤皆輸,成本就上來了……”

  領導們來回分析,議論紛紛。

  陸飛只能一一回答,“損害壽命肯定會損害,良率低也肯定會低一些,成本自然也就會高一點,但這是沒有辦法的辦法,目前EUV光刻機國產化要實現徹底突破,還有不少技術難題擺在面前,需要時間去攻破。”

  “比如呢?”

  沙領導投去問詢的目光。

  “光刻機的技術難點主要集中在光源、反射鏡、工作臺,現在雙工作臺已經解決了,光源問題也突破了,就剩下物鏡系統。”

  陸飛直說道:“AMSL、尼康的光刻機用的是蔡司的技術,但蔡司愿意賣給AMSL、尼康,但絕對不會出口給我們。”

  然后嘆了口氣,“沒辦法,我們只能從零開始,聯合長春光機、徠卡、華為等聯合研發,現在搞定了DUV浸潤式的物鏡系統,至于EUV的,恐怕需要很長一段時間。”

  “那這期間,復芯、中芯的晶圓代工,有沒有可能會被臺積電、英特爾的差距拉大?”

  鄭韓皺了皺眉。

  “肯定會,但好在情況并不糟糕。”

  陸飛笑道:“雖然5nm是目前我們的極限,理論上而言,臺積電、英特爾、三星這些有EUV光刻機的,制程工藝甚至可以沖擊到1nm,但得到的回報并不會太高。”

  不少領導感到奇怪,“為什么這么說?制程工藝難道不是越先進越好嘛?”

  “理論上是這樣,但事實是現在全球智能機領域已經有‘性能過剩’的趨勢,搭載5nm芯片的手機體驗,未必就不如3nm,就會讓3nm及以下工藝陷入一種尷尬的地步,飆升的成本卻只得到微弱的性能提升。”

  陸飛嘿然一笑,“反倒是28nm、14nm和7nm這三個節點的工藝才是市場主流,特別是我們國內絕大部份的芯片需求,所以有了國產的DUV浸潤式光刻機,基本可以保證我們不會也不怕被卡脖子,也能保證支撐到我們研發出EUV光刻機的那一天。”

  眾人兩兩相望,相視一笑。

  確實,28nm是集成電路產能中劃分中低端跟中高端的分界線。

  除了對功耗要求比較高的CPU、GPU、AI芯片外,其余的工業級芯片用的都是28nm以上的技術,比如電視、空調、汽車、高鐵、火箭、衛星、工業機器人、電梯、醫療設備、智能手環、無人機……

  但現在,7nm,甚至不計任何代價,極限可以推到5nm,簡直是綽綽有余。

  “你們在資金上、政策上、人才上,或者在其他方面,有沒有什么需要我們解決的?”

  沙領導慈眉善目。

  陸飛也不客氣,立馬張口。

  一個敢提,一個敢接。

  “我還有個提議,希望領導們能支持。”

  “說。”

  “是這樣,邏輯這些年一直跟水木大學開展了比較另類的秘密項目,那就是研究直接跳過光刻機,建立光刻廠和光刻車間。”

  “光刻廠和光刻車間?!”

  沙領導、鄭韓等人或多或少感到驚訝。

  “對,安裝和調試一臺DUv光刻機需要至少一年的時間。”陸飛一本正經說,“而如果直接造光刻廠,把光刻機的整個供應鏈連接起來,就可以擺脫以往單臺光刻機的生產模式,轉為流水線生產,根據不同的精度需求,大規模生產各類精度的光刻機,就能把光刻機,甚至芯片價格打下去,你們覺得怎么樣?”

  “嘶~”

  現場技術領域的領導立刻竊竊私語起來。

  “多條路,就多種選擇,大膽去試,放手去干,我們永遠是你們的堅實后盾。”

  沙領導拍了下陸飛的肩膀。

  “是,領導!”

  陸飛語氣里夾著一絲興奮。

  “《科技日報》最近總結了35項制約我們制造工業的卡脖子技術,不知道你有沒有看到?”沙領導往工廠外走去。

  “看了。”陸飛立刻跟上。

  “有什么感想?”沙領導追問。

  “看上去是35項,但實際情況并不對,有很多項目已經被邏輯攻克了,比如航空設計軟件、EDA設計軟件、觸覺傳感器……”

  陸飛如實說:“有的正在被攻克,像激光雷達,我們就在為未來的智能駕駛系統量身定制商用級的激光雷達。”

  “我知道伱和邏輯這些年明里暗里已經做了很多,但這些都不是關鍵。”沙領導語氣認真道,“芯片才是重中之重,畢竟電動汽車、人工智能這些個領域,都離不開芯片。”

  “如果真地卡脖子,也許暫時會是華夏半導體產業的黑暗,但長遠老看,何嘗不是我們國產半導體崛起的機會?”

  陸飛不以為然。

  想徹底圍堵華夏芯片的發展,但是卻給了國產一個機會,當“國產替代”形成了風潮,華夏半導體就會爆發巨大的潛能。

  邏輯多年的布局,就能迎來真正的風口!

  從光源系統到物鏡系統,從浸沒系統到雙工作臺研發,從光刻膠到光掩模版,從光刻機缺陷檢測設備到涂膠顯影設備,不管是核心組件,還是配套設施,國產的都將慢慢起飛。

  “說得好。”

  沙領導笑道:“對了,你剛剛說安裝調試光刻機需要一年,那么再加上制造,豈不是一臺光刻機到真正投產,時間會超過一年?”

  陸飛點了下頭,“對,所以我們現在加班加點地趕制,爭取對邏輯和華為動手之前,能多造幾臺就多造幾臺。”

  鄭韓問道:“如果現在邏輯和華為就出現中興斷供的局面,你們又該怎么辦呢?”

  “即使高通和其他供應商不向我們出售芯片,我們也不怕,邏輯早就預料到會有這么一天,已經提前做好了備胎計劃。”

  “備胎計劃?”

  舊金山,黃金豪宅。

  “媽媽,為什么爸爸這么久都沒有來看我們?”混血的陸洋躺在床上,眨了眨眼睛。

  “他很快就會來看我們的。”

  伊凡卡一把拉上窗簾,走到床沿坐下,捧著兒子的額頭親吻了一口,“睡吧。”

  “晚安,媽媽。”

  “晚安。”

  看到他合上眼,伊凡卡關掉床頭燈,輕手輕腳地退出臥室,笑容立刻消失。

  就在此時,手機里收到了短信。

  一下子,直奔書房,里面的裝修沒有變化,依舊保持了陸飛當初的設計,來到電腦前,就見《華盛頓郵報》、《紐約時報》等多家媒體已經報道了對邏輯和華為的制裁——

  邏輯和華為正式加入到清單!

  美利堅供應商集體斷供!

  “終于來了!”

  伊凡卡興奮不已,雖然自己知道陸飛絕對不會輕易地求饒,也不會像中興那么容易對付,但又如何?無非是抵抗的時間長點而已!

  早晚,都得像中興一樣,乖乖來美。

  一念至此,她拉開最下方的抽屜,暗格里藏著一把鑰匙,余光瞄了眼角落不起眼的小房間,推門而入,打開燈光,一道道曖昧的粉色和妖嬈的紫色交織在一起,照亮四周。

  墻壁上掛著許多玩具和cosplay服裝,該死的記憶立刻涌現而出。

  伊凡卡又想起了在這里的點點滴滴,隨手取出一根散鞭,對著空氣狠狠地揮舞了兩下。

  頓時間,一聲聲破空聲乍響!

  緊接著,鞭子落在綁在十字架上的布偶身上,就見臉部貼了張“陸飛”的肖像照片。

  “啪啪啪!”

  “為什么不來美利堅!”

  “難道我這個第一女兒,下嫁你個世界首富吃虧了嗎?我們兩個的結合,明明對誰都有利,甚至有希望成為oldmoney的一員!”

  “陸,你個混蛋!”

  “為什么你在美利堅,只留下這么點不動產給我和孩子,就連勇士隊的股份也舍不得給我?!”

  伊凡卡像怨婦一樣,不斷狂舞著鞭子,仿佛眼前的“陸飛”布偶就是活的一樣,宣泄心中的不滿,特別當她想到陸飛持有的奈飛、蘋果、亞馬遜、特斯拉等美股竟然沒她的份。

  而且也沒有她孩子的份!

  但顯然完全忘了陸飛留給她的傳媒集團,可是囊括了電視臺、報紙、電影、流媒體、漫畫、主題公園和度假村、周邊衍生品……

  更別提,臉書、推特、SpaceX的股份。

  “等你來美利堅,有你好看的!”

  “以前在這里怎么對我,我就怎么對你!”伊凡卡氣喘吁吁,打得滿臉是汗。

  盡興之后,才重新封閉小黑屋。

  “呼~”

  伊凡卡把鑰匙放回暗格里,正準備關閉電腦,就見推特上帶著“邏輯”字樣的沖上熱搜。

  赫然是邏輯官宣,備胎計劃,啟動!

  “備胎”一夜之間全部“轉正”!

  (本章完)

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